مقالات من

 

مقاله بررسی اثر کاشت ناخالصی آرسنیک بر روی نیمه هادی سیلیسیم بعد ازاکسیداسیون گرمایی با word دارای 4 صفحه می باشد و دارای تنظیمات در microsoft word می باشد و آماده پرینت یا چاپ است

فایل ورد مقاله بررسی اثر کاشت ناخالصی آرسنیک بر روی نیمه هادی سیلیسیم بعد ازاکسیداسیون گرمایی با word کاملا فرمت بندی و تنظیم شده در استاندارد دانشگاه و مراکز دولتی می باشد.

این پروژه توسط مرکز مرکز پروژه های دانشجویی آماده و تنظیم شده است

توجه : در صورت  مشاهده  بهم ریختگی احتمالی در متون زیر ،دلیل ان کپی کردن این مطالب از داخل فایل ورد می باشد و در فایل اصلی مقاله بررسی اثر کاشت ناخالصی آرسنیک بر روی نیمه هادی سیلیسیم بعد ازاکسیداسیون گرمایی با word،به هیچ وجه بهم ریختگی وجود ندارد

---

بخشی از متن مقاله بررسی اثر کاشت ناخالصی آرسنیک بر روی نیمه هادی سیلیسیم بعد ازاکسیداسیون گرمایی با word :

سال انتشار: 1386

محل انتشار: کنفرانس فیزیک ایران 1386

تعداد صفحات: 4

چکیده:

در این مقاله با استفاده از میکروسکوپ نیروی اتمی (AFM ) ، تأثیر ناخالصی آرسنیک(As) با دز های مختلف که با روش کشت یونی در ویفرهای سیلیسیم تک بلور (100) ، کاشته شده است، بعد از اکسیداسیون گرمایی سیلیسیم در تغییرات مورفولوژی سطح فصل مشترک اکسید – نیمه رسانا مطالعه شده است . همچنین تأثیر بازپخت حرارتی بعد از مرحله اکسیداسیون در خواص الکتریکی و منحنی ولتاژ – جریان (I-V) مورد مطالعه قرار گرفته است . علاوه بر این ایجاد لایه بلوری و غنی ازAsدر فصل مشترک اکسید – نیمه رسانا با استفاده از تکنیکRBS-Channelingبررسی شده است

 

دانلود این فایل